影像感測器與光電元件
在微細像素之間挖出深溝並填入絕緣物等的結構(DTI),其主要目的為下列何者?
- A防止光或電荷洩漏至相鄰像素(串擾)
- B增大像素
- C使彩色濾光片變得不必要
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正確答案:A. 防止光或電荷洩漏至相鄰像素(串擾)
當像素變小,斜向入射的光或在較深處產生的電荷會進入相鄰像素,造成顏色混合或解析度下降。DTI(Deep Trench Isolation,深溝槽隔離)是在像素之間挖出深度數µm的溝槽,並填入氧化膜或金屬等以阻隔光與電荷,抑制這種串擾。多數採用從背面挖溝的方式,抑制溝槽側壁所產生暗電流的處理也很重要。