이미지 센서와 광소자
미세한 화소 사이에 깊은 홈을 파고 절연물 등을 매립하는 구조(DTI)의 주된 목적은?
- A이웃 화소로의 빛이나 전하의 누설(크로스토크)을 방지한다
- B화소를 크게 한다
- C컬러 필터를 불필요하게 한다
정답과 해설 보기
정답: A. 이웃 화소로의 빛이나 전하의 누설(크로스토크)을 방지한다
화소가 작아지면 비스듬히 들어온 빛이나 깊은 위치에서 발생한 전하가 이웃 화소로 들어가 색이 섞이거나 해상도가 떨어집니다. DTI(Deep Trench Isolation)는 화소 사이에 깊이 수 µm의 홈을 파고 산화막이나 금속 등을 매립하여 빛과 전하를 차단함으로써 이 크로스토크를 억제합니다. 후면에서 파는 방식이 많으며, 홈의 벽에서 발생하는 암전류를 억제하는 처리도 중요합니다.