Quel groupe de substances, quasiment non dégradables dans l'environnement et surnommées « polluants éternels », pose à l'industrie des semi-conducteurs des défis de conformité réglementaire et de substitution du fait de son usage dans les résines notamment ?

Réponse : A. PFAS (substances per- et polyfluoroalkylées)

Les PFAS désignent plusieurs milliers de composés organofluorés à liaisons carbone-fluor très fortes ; leur persistance dans l'environnement et l'organisme est jugée problématique et leur réglementation se renforce en Europe et aux États-Unis. Dans les semi-conducteurs, ils sont utilisés dans les générateurs photoacides des résines, les films antireflets, les tensioactifs, ainsi que dans les canalisations et pièces en fluoropolymère ; peu de matériaux pouvant assurer les mêmes performances, le développement de substituts et la maîtrise des émissions progressent en parallèle.