Welke groep stoffen, ook wel "eeuwige chemicaliën" genoemd omdat ze in de natuur nauwelijks worden afgebroken, wordt onder meer in resistmaterialen gebruikt en vormt daardoor voor de halfgeleiderindustrie een uitdaging wat betreft regelgeving en vervanging?

Antwoord: A. PFAS (organofluorverbindingen)

PFAS is de verzamelnaam voor duizenden organofluorverbindingen met sterke koolstof-fluorbindingen; ze blijven lang in milieu en lichaam aanwezig, wat als probleem wordt gezien, en de regelgeving wordt in Europa en de Verenigde Staten aangescherpt. In halfgeleiders worden ze gebruikt in onder meer fotozuurgeneratoren van resist, antireflectielagen, oppervlakteactieve stoffen en leidingen en onderdelen van fluorhars; omdat er weinig materialen zijn die dezelfde prestaties kunnen leveren, wordt gelijktijdig gewerkt aan de ontwikkeling van alternatieven en het beheer van de uitstoot.