Welche Stoffgruppe, die in der Umwelt kaum abgebaut wird und auch als „Ewigkeitschemikalien“ bezeichnet wird und u. a. in Resistmaterialien verwendet wird, stellt die Halbleiterindustrie bei der Einhaltung von Regulierung und beim Ersatz vor Herausforderungen?

Antwort: A. PFAS (per- und polyfluorierte Alkylverbindungen)

PFAS ist die Sammelbezeichnung für mehrere tausend organische Fluorverbindungen mit starken Kohlenstoff-Fluor-Bindungen; wegen ihres langen Verbleibs in Umwelt und Körper gelten sie als problematisch, und die Regulierung wird in Europa und den USA verschärft. In Halbleitern werden sie z. B. in Photosäurebildnern von Resists, Antireflexschichten, Tensiden sowie Rohrleitungen und Teilen aus Fluorharz verwendet; da es nur wenige Materialien gibt, die ihre Funktion ersetzen können, werden Entwicklung von Ersatzmaterialien und Emissionskontrolle parallel vorangetrieben.