在自然環境中幾乎不會分解而被稱為「永久化學物質」，且因用於光阻材料等，在半導體業界也成為法規因應與替代課題的物質群為下列何者？

正確答案：A. PFAS（有機氟化合物）

PFAS是具有碳與氟之強鍵結的數千種有機氟化合物的總稱，因會長期殘留於環境與體內而被視為問題，歐美正在強化管制。在半導體方面，用於光阻的光酸產生劑、抗反射膜、界面活性劑、氟樹脂的配管與零件等，因能代替其性能的材料很少，所以替代材料的開發與排放管理正在並行推動。

• A. 正確。是不易分解的有機氟化合物的總稱。
• B. 葡萄糖是容易分解的物質。
• C. 氯化鈉是食鹽，不是PFAS。