Welche Einrichtungen machen einen großen Teil des Energieverbrauchs einer Halbleiterfabrik aus?

Antwort: B. Neben den Fertigungsanlagen die Versorgungseinrichtungen wie Klimatisierung des Reinraums, Reinstwassererzeugung und Abgasbehandlung

In Halbleiterfabriken verbrauchen neben den Fertigungsanlagen selbst Versorgungseinrichtungen viel Strom, etwa die Klimatisierung des Reinraums mit der Umwälzung großer Luftmengen, die Reinstwassererzeugung, die Behandlung von Abluft und Abwasser sowie Kühlwasser und Vakuumpumpen. Der Stromverbrauch einer großen Fabrik kann dem einer Stadt in einer ländlichen Region entsprechen, und die Effizienzsteigerung dieser Einrichtungen ist ein wichtiges Thema für Energieeinsparung und die Verringerung von Treibhausgasen. Der Anteil von Beleuchtung und Büro-PCs ist gering.