Welke voorzieningen nemen een groot deel van het energieverbruik van een halfgeleiderfabriek voor hun rekening?

Antwoord: B. Naast de productieapparatuur ook de utiliteiten, zoals airconditioning van de cleanroom, productie van ultrazuiver water en afgasbehandeling

In halfgeleiderfabrieken verbruiken naast de productieapparatuur zelf ook de utiliteiten veel elektriciteit, zoals de airconditioning van cleanrooms waarin veel lucht wordt rondgepompt, de productie van ultrazuiver water, de behandeling van afgas en afvalwater, koelwater en vacuümpompen. Het verbruik van een grote fabriek kan gelijk zijn aan dat van een middelgrote stad, en het efficiënter maken hiervan is een belangrijk thema voor energiebesparing en vermindering van broeikasgassen. Het aandeel van verlichting en kantoor-pc's is klein.