MOSFET
nMOSFET의 채널 영역(p형 기판)의 불순물 농도를 높이면 문턱 전압은 어떻게 되는가?
- A높아진다
- B낮아진다
- C변하지 않는다
정답과 해설 보기
정답: A. 높아진다
기판의 불순물 농도가 높으면 표면을 반전시키기까지 공핍층에 포함되는 억셉터의 전하가 많아지고 페르미 전위 φF도 커지기 때문에, 더 큰 게이트 전압이 필요해집니다. 그래서 문턱 전압은 높아집니다. 채널에 이온 주입으로 Vth를 조정하는 것은 이 성질의 이용입니다. 다만 고농도로 하면 이동도가 내려가고 편차(도펀트 수의 요동)도 늘어나기 때문에, FinFET이나 GAA에서는 채널을 거의 무도핑으로 하고 일함수로 Vth를 정합니다.
- A. 올바릅니다. 반전에 필요한 공핍층의 전하가 늘어나기 때문입니다.
- B. 농도를 낮추면 문턱 전압은 낮아지지만, 높이면 반대입니다.
- C. 기판 농도는 문턱 전압을 정하는 주요 요인 중 하나입니다.