화합물 반도체
GaAs 고주파 IC에서 반절연성 GaAs 기판을 사용하는 이점으로 올바른 것은?
- A기판의 저항이 매우 높아 기생 용량과 신호 손실이 작다
- B기판이 빛을 강하게 낸다
- C기판이 실리콘보다 저렴하다
정답과 해설 보기
정답: A. 기판의 저항이 매우 높아 기생 용량과 신호 손실이 작다
GaAs는 탄소 불순물과 깊은 준위를 만드는 결함(EL2)을 보상시켜 저항률 10⁷ Ω·cm 이상의 반절연성 기판으로 만들 수 있습니다. 기판을 통한 신호 누설과 기생 용량이 작아지므로 트랜지스터 간 분리가 간단하고, 인덕터와 전송선로 같은 수동 소자도 저손실로 같은 기판 위에 만들 수 있습니다. 실리콘에서는 기판의 도전성이 고주파 손실이 되므로 SOI나 고저항 기판 등의 궁리가 이루어지고 있습니다.