Capteurs d'images et composants optiques
Quel est l'objectif principal de la structure (DTI) consistant à creuser des tranchées profondes entre les pixels fins et à les remplir d'isolant ou analogue ?
- AEmpêcher les fuites de lumière ou de charges vers les pixels voisins (diaphonie)
- BAgrandir les pixels
- CRendre le filtre coloré inutile
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Réponse : A. Empêcher les fuites de lumière ou de charges vers les pixels voisins (diaphonie)
Lorsque les pixels rétrécissent, la lumière entrant en oblique ou les charges générées en profondeur pénètrent dans les pixels voisins, mélangeant les couleurs ou réduisant la résolution. La DTI (Deep Trench Isolation) creuse entre les pixels des tranchées de quelques µm de profondeur remplies d'oxyde, de métal ou analogue, qui bloquent lumière et charges et limitent cette diaphonie. Les tranchées sont le plus souvent creusées par la face arrière, et le traitement limitant le courant d'obscurité généré sur leurs parois est important.
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