Bildsensoren und optische Bauelemente

Was ist der Hauptzweck der Struktur (DTI), bei der zwischen feinen Pixeln tiefe Gräben geätzt und mit Isolator u. Ä. gefüllt werden?

  1. ADas Übersprechen (Crosstalk) von Licht und Ladung in benachbarte Pixel zu verhindern
  2. BDie Pixel zu vergrößern
  3. CDen Farbfilter überflüssig zu machen
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Antwort: A. Das Übersprechen (Crosstalk) von Licht und Ladung in benachbarte Pixel zu verhindern

Bei kleineren Pixeln dringen schräg einfallendes Licht oder in tiefer Lage erzeugte Ladung in Nachbarpixel ein, wodurch sich Farben mischen und die Auflösung sinkt. Bei der DTI (Deep Trench Isolation) werden zwischen den Pixeln einige µm tiefe Gräben geätzt und mit Oxid oder Metall gefüllt, um Licht und Ladung abzuschirmen und dieses Übersprechen zu unterdrücken. Häufig werden sie von der Rückseite aus geätzt; auch eine Behandlung zur Unterdrückung des an den Grabenwänden entstehenden Dunkelstroms ist wichtig.

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