Halbleiterindustrie und Markt
Welche Aussage zu modernen EUV-Belichtungsanlagen ist zutreffend?
- AViele Unternehmen liefern sie günstig, und sie sind leicht zu beschaffen
- BEs gibt nur sehr wenige Anbieter, und sie sind der Dreh- und Angelpunkt der Fertigung fortgeschrittener Halbleiter
- CSie werden in der Fertigung fortgeschrittener Halbleiter nicht eingesetzt
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Antwort: B. Es gibt nur sehr wenige Anbieter, und sie sind der Dreh- und Angelpunkt der Fertigung fortgeschrittener Halbleiter
Eine EUV-Belichtungsanlage vereint eine Plasmaquelle, die durch Laserbeschuss von Zinntröpfchen erzeugt wird, Vielschichtspiegel mit einer Reflektivität von etwa 70 % und Hochvakuumtechnik; Anlagen für die Serienfertigung liefert praktisch nur ein einziges Unternehmen, ASML aus den Niederlanden. Eine Anlage kostet mit einigen zehn Milliarden Yen sehr viel und ist für die Fertigung fortgeschrittener Logik- und Speicherchips unverzichtbar. Auch die Bauteile stammen von Spezialunternehmen aus aller Welt, und die Anlagen unterliegen Exportkontrollen.