Umwelt und Sicherheit
Welche umweltbezogene Maßnahme ist für das in Halbleiterfabriken in großer Menge verwendete Wasser angemessen?
- ADas gesamte benutzte Wasser wird unbehandelt ins Meer eingeleitet
- BAbwasser wird aufbereitet und zurückgewonnen und z. B. als Rohwasser für Reinstwasser wiederverwendet
- CDer Wasserverbrauch wird nicht erfasst
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Antwort: B. Abwasser wird aufbereitet und zurückgewonnen und z. B. als Rohwasser für Reinstwasser wiederverwendet
Halbleiterfabriken verwenden zur Waferreinigung große Mengen Reinstwasser, in großen Fabriken bis zu mehreren zehntausend Tonnen pro Tag. Daher wird daran gearbeitet, vergleichsweise sauberes Spülwasser zurückzugewinnen, aufzubereiten und als Rohwasser für Reinstwasser oder als Kühlwasser wiederzuverwenden und so die Rückgewinnungsrate zu erhöhen. In wasserarmen Regionen wird dies auch zu einer Standortbedingung. Eingeleitetes Abwasser wird so behandelt, dass es die gesetzlichen Grenzwerte einhält, und der Verbrauch wird erfasst und gesteuert.