DRAM

Was bedeutet das F in der zur Angabe der DRAM-Zellfläche verwendeten Größe „6F²“?

  1. AFarad (Einheit der Kapazität)
  2. BAnzahl der Fins
  3. CMinimale Strukturgröße (Feature Size)
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Antwort: C. Minimale Strukturgröße (Feature Size)

F ist die minimale Strukturgröße (Feature Size), und die Zellfläche wird als „Vielfaches von F zum Quadrat“ angegeben. Beträgt der Pitch von Wortleitung und Bitleitung jeweils 2F, ist die minimale Fläche einer Zelle am Kreuzungspunkt 4F². Beim DRAM wurde von 8F² auf 6F² verbessert, 4F² wird mit vertikalen Transistoren u. Ä. erforscht. Mit dieser Angabe lässt sich die Effizienz von Zellentwürfen verschiedener Generationen und Hersteller unabhängig von der Strukturgröße vergleichen.

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