使程式的執行流程不偏離原本程式可能發生之路徑（控制流程圖）的對策總稱。包括保護函式返回的影子堆疊與指標驗證、把間接呼叫與跳躍的目的地限制在帶有指定標記之處的Intel IBT與Arm分支目標識別（Branch Target Identification）等硬體功能，以及由編譯器插入的目的地檢查。能提高覆寫返回位址或函式指標、串接既有程式碼片段之攻擊的難度。
日文名稱: 制御フロー完全性
「控制流程完整性」出現在1領域的1道練習題中（硬體安全的進階主題與趨勢等）。
這個名詞所屬的領域: 硬體安全的進階主題與趨勢
正確答案：A. 返回以影子堆疊或指標驗證保護，間接呼叫或跳躍則以要求目的地開頭有指定標記指令的機制保護
影子堆疊比較返回位址與其副本，指標驗證確認附加在返回位址上的驗證碼，因此兩者都保護函式的返回。對於間接呼叫或跳躍，Intel的IBT與Arm的分支目標識別（Branch Target Identification）要求目的地開頭有標記指令（x86為ENDBR64），並把跳到函式中途等處的分支變成例外。不過，只要是有標記的地方，任何間接分支都能跳過去，因此有時會與編譯器所做、把目的地限制在型別相符之函式的細部檢查搭配使用。KPTI是針對Meltdown的對策，IOMMU是限制設備DMA的機制，兩者都不保護控制流程。
函式指標 影子堆疊 返回位址 指標驗證（PAC） KPTI（核心分頁表隔離） Meltdown IOMMU(輸入輸出記憶體管理單元) DMA(直接記憶體存取) 目標列刷新（TRR） 硬體物料清單（HBOM）