이미지 센서와 광소자
비냉각형 적외선 이미지 센서에 사용되는 마이크로 볼로미터의 원리로 올바른 것은?
- A광전 효과로 전자를 방출시킨다
- B적외선을 흡수하여 온도가 오르고, 그에 따른 저항값의 변화를 검출한다
- C홀 효과로 자계를 검출한다
정답과 해설 보기
정답: B. 적외선을 흡수하여 온도가 오르고, 그에 따른 저항값의 변화를 검출한다
마이크로 볼로미터는 MEMS 기술로 기판에서 띄운 산화 바나듐이나 비정질 실리콘의 박막이 적외선을 흡수하여 약간 따뜻해지면, 그 온도 변화에 의한 저항값의 변화를 검출합니다. 열이 빠져나가지 않도록 진공 패키지에 봉입합니다. 냉각 장치가 필요 없고 소형·저가이므로, 체온 측정용 열화상 카메라, 건물의 단열 진단, 야간 감시나 자동차의 보행자 검지 등에 사용되고 있습니다.