Halbleiterphysik

Welche Aussage ist richtig, wenn Silizium mit Bor (B) als Dotierstoff versetzt wird?

  1. AEs ist elektrisch inaktiv, und der Leitungstyp ändert sich nicht
  2. BEs wirkt als Donator, und es entsteht ein n-Halbleiter
  3. CEs wirkt als Akzeptor, und es entsteht ein p-Halbleiter
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Antwort: C. Es wirkt als Akzeptor, und es entsteht ein p-Halbleiter

Bor gehört zur Gruppe III und hat drei Valenzelektronen; für die kovalenten Bindungen fehlt also ein Elektron, und es nimmt Elektronen aus der Umgebung auf. Dadurch entstehen Löcher im Valenzband, und das Silizium wird p-leitend. Bor ist der typische Akzeptor in Silizium; sein Niveau liegt mit etwa 0,045 eV flach über dem Valenzband, und bei Raumtemperatur ist es nahezu vollständig ionisiert. Da das Atom leicht ist und schnell diffundiert, werden für flache Übergänge Implantation mit niedriger Energie oder die Implantation von BF2 eingesetzt.

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